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<2019 May>
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Plateforme ORGATECH
 
LPICM, Ecole Polytechnique 


 Objectifs, constitution et moyens
La réalisation de démonstrateurs de l’électronique organique et hybride nécessite généralement de travailler en milieu propre et à l’abri de l’oxygène et de l’humidité ambiante. Ces contraintes imposent par conséquent l’utilisation d’un équipement spécifique sous boites à gants.
La plateforme technologique ORGATECH (voir ci-dessous) est construite autour de 3 boites à gants connectées entre elles.

Cette structure comporte :
  • Une première boîte à gant contenant une chambre d’évaporation MECA2000 des matériaux organiques (4 sources) avec possibilité de co-évaporation. Cet évaporateur possède également deux sources d’évaporation de métaux avec possibilité de co-évaporation
  • un sas d’entrée/sortie
  • une boîte à gants centrale contenant un dépôt par spin-coating, une station sous pointes pour la caractérisation électrique (5 pointes, microscope, camera et connexion vers un système de mesure extérieure à la boite à gants) et un simulateur solaire (lampe AM 1.5)

     
  • Une troisième boite à gants contenant :
    • Une chambre RIE pour le traitement plasma O2 du substrat
    • Une chambre d’évaporation (1 source classique pour matériaux organiques, une turbo-source RIBER et deux sources pour métaux) Contrôle de la température du substrat (-50 à 150°C) et positionnement de masques métalliques avec une précision de l'ordre de 50µm.
    • Un système de positionnement de masques métalliques d’évaporation (précision de l'ordre de 50µm pour des substrats de 50*50mm)

La plateforme ORGATECH comporte d’autres équipements spécifiques permettant la conception et la caractérisation électro-optique de composants et de circuits de l’électronique organique.
  • Une Boite à gants de stockage de préparation et de stockage des matériaux organiques
  • Une Boite à gants pour pulvérisation de métaux PLASSYS (2 sources)
  • Deux bâtis d’évaporation RIBER
  • Une imprimante jet d’encre Dimatix (format A4 avec une précision de 25µm)
  • Un four 1500°C (pression atmosphérique)
  • Une sphère d’intégration et un SpectraScan (réponse spectrale)
  • Un banc de caractérisation IVL (Intensité Courant Luminance)

En outre la plateforme ORGATECH, profite de l’ensemble des moyens techniques propres aux LPICM. On pourra citer ici :
  • Des réacteurs CVD et PECVD, sputering de dépôts de couches minces et de nanostructures (Silicium (couches minces et nanofils), nanotubes de carbone, graphène, metaux).
  • Une salle blanche pour la photolithographie de composants de l’électronique sur grands substrats dans le cadre de la plateforme technologique mutualisée THALES/X/IOGS/CNRS.
  • Des outils de caractérisations optiques et physiques (Ellipsométrie, polarimétrie, Nano-Raman, AFM, STM, TEM,..).

 Résumé
NomORGATECH
LocalisationLPICM, Ecole Polytechnique, route de Saclay, 91128 PALAISEAU cedex
Responsable Yvan BONNASSIEUX
Tel : 01 69 33 43 02 Fax : 01 69 33 43 02
Email : yvan.bonnassieux@polytechnique.edu
ObjectifsSynthèse (par evaporation et impression jet d’encre) et caractérisations de composants et de circuits de l’électronique organiques et hybrides (OTFT, OLED, OPV)

 Plateforme ORGATECH ( LPICM, Ecole Polytechnique)
La plateforme technologique ORGATECH (commune au LPICM et au CEA) est installée dans les locaux du laboratoire LPICM (UMR 7647) situé dans le campus de l’Ecole Polytechnique, Palaiseau. Elle est incluse dans une salle spécifique de 66m2 et contient une zone spécifique de caractérisations optiques et électriques de 12m2.

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